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科研教學工業製造基建工程

同時滿足XY平面尺寸量測與高度量測需求之高精度機台

wafer或tray上的chip需要能任意指定並做自動量測

抽檢利器-可以任意選取欲量測之晶片

探針卡量測

nexiv 自動工具顯微量測系統

nexiv 自動工具顯微量測系統

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測量金線線弧高度

檢查晶片表面

檢驗奈米粒子（銀）

明暗場方式檢驗半導體(IC晶圓)表面

檢驗礦物質

全站儀資料傳輸

利用全站儀進行點測量及點放樣

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